曝光蚀刻。

说白了，曝光机其实就是有很多复杂的镜片所组成的一个精密的光学设备。

而我们这项技术呢，则可以简化这么复杂的镜片模组。只需要按照相关的布局在一块特制的透明玻璃中雕刻或者说打印出这些镜片模组，从而将庞大的曝光机镜片高度集中在一起。

这样不仅仅制造出来的极紫外光源不仅仅纯净，而且波长更短，更加锐利，能够制造制程更小的芯片。

其次，相比于复杂且昂贵的曝光