光源的透镜组的制造吗?”对于吴浩他们关注比较多的战略支援保障方面的将军有些不解道。 吴浩闻言现在点了点头道“其实原理都是相通的,我们利用这种制造工艺,我们可以在一枚镜片上加工多层镜片。理论上来说,这个数字可以做到无穷大,这得看镜片材料的厚度是多少了。 而光刻机的核心是曝光机,所谓曝光机其实就是将一束紫外光源通过透镜和棱镜组将其集中压缩到纳米级的极紫外光,从而用于硅片上集成电路的