为了终止合作协议，我们还支付了400万法郎（70万丑元），并获得了cr-trle所有的知识产权。

随后，我们转向了第二家供应商，由合兰的小型机电一体化专业公司对晶圆装卸器进行升级，再由飞利甫机器厂负责生产。

al、和飞利甫已经对原型进行了极大的改进，但东菲什基尔的芯片厂，仍坚持使用cr-trle的晶圆装卸器，这才造成了问题。

在换上新型的装卸器以后，设备就没有再出现故