利，故障很快就被排除了。

目前，pa5500正在东菲什基尔的芯片厂正常运行。

之所以会发生这个问题，是因为一开始的晶圆装卸器供应商不够好。

pa5500是一台前所未有的机器，它的晶圆装卸系统非常复杂。

在1989年年底，我们与一家名叫cr-trle的法莱西公司签订了合作协议，由他们为我们供应晶圆装卸器。

在今年3月，我们与他们停止合作。