？】

【春城和申市两大光机所接下光学子系统研发&nj;（就是高精度镜头）,水木大学研发&nj;团队负责双工作台系统（工程已验收），南大光电是光刻胶，蓝河科技接下光源系统科学专项,申市微电子科技负责最终组装……蓝河科技已跟申市微电子科技达成合作！】

【说&nj;得再简单点，研发&nj;出135n光源系统设备就意味着极紫外光刻机最迟明年一&nj;定能验收！】

【我只关心一