【保守估计，明年下个季度。但也&nj;有可能,今年年底可实现国产EUV验收。】

【！！！不是还有其他子系统设备没研发&nj;出来吗？】

【只要最关键的光源系统设备和双工作台系统研发&nj;出来,其他问题被解决只需要时间和人手。】

【看来还是没人知道135n光源系统设备被研发&nj;出来到底意味着什&nj;么！】

【所以你&nj;能说&nj;明白吗