哪怕是有专业的注入仪器,需要的电压强度一般也要达到350kv,高的甚至要求700kv以上。”
“而且还需要达到一千两百度以上的高温。”
“否则注入深度无法达到要求,无法形成稳定可用的n-漂移层。”
“更关键是,相比较单纯的硅晶体,碳化硅晶体里面掺入了碳原子。”
“而铝离子在通过强能量注入晶体中是还会破坏碳原子的分子键,从而导致成品出现瑕疵。”
“离
第一百八十四章:离子注入(8 / 13)
哪怕是有专业的注入仪器,需要的电压强度一般也要达到350kv,高的甚至要求700kv以上。”
“而且还需要达到一千两百度以上的高温。”
“否则注入深度无法达到要求,无法形成稳定可用的n-漂移层。”
“更关键是,相比较单纯的硅晶体,碳化硅晶体里面掺入了碳原子。”
“而铝离子在通过强能量注入晶体中是还会破坏碳原子的分子键,从而导致成品出现瑕疵。”
“离