第六百三十章 身体是革命的本钱(1 / 17)

第六百三十章 身体是革命的本钱

“不简单,一点也不简单,想要在光源前加一纳米厚度的水,这绝对是一件很困难的事。”

陈江海摇了摇头说道。

沉浸式光刻说起来是很简单,那就是加一纳米厚度的水。

可是这水的厚度一定要刚刚好,不能有任何污染,不能有气泡,还要能随着光刻机在晶圆表面运动,不能有丝毫泄露。