机中极紫外光源透镜组。

这种高度集成的复合式透镜组不但能够替代当前先进光刻机中复杂的光源透镜组，而且还能够降低成本，提升性能。

目前这项技术已经通过了相关专家组的技术论证，其在多个领域上的应用都取得了令人满意的与其成果。

至于为什么要发起这个项目，并联合这么多优秀企业。

说实话，我们也是迫不得已，谁会愿意花那么多钱费那么多力气去投入一个高投入高风险的项目呢。