顶尖的光刻机，还需要体积，但是功率非常高而且要稳定的光源。 以ASML的顶尖光刻机来，其使用波长短的极紫外光，光学系统可以是极复杂。 有顶级的镜头和光源，没极致的机械精度，也是白搭。光刻机里有两个同步运动的工件台，一个载底片，一个载胶片。 两者需始终同步，误差在2纳米以下。两个工作台由静到动，加速度跟导弹发射差不多。 SMEE最好的光刻机，包含13个分系统，3万个机械件，200多个传感器，