持续、大功率激光输出。”赵凯东望向苏远山：“但我们相信……大功率肯定是能的。”

苏远山轻轻叹了口气：“我当然也相信……”

苏远山知道，后世KBBF是一直没有用在光刻机上的——或者说，加个主流。当初他让赵凯东搞KBBF，也是怀着侥幸，希望能够从KBBF上完成突破，从而一举打破193纳米的桎梏，再加上浸润式，到时候就能很轻易地靠着DUV就下探到5nm制程之下。