许秋先是隔着手套箱的玻璃看了眼莫文琳旋涂、擦片过后的基片。 发现除了有两片略微不完美,有效层薄膜上出现了少许颗粒状凸起,其他的六片做的都非常不错,蓝绿色的薄膜,涂覆的非常均匀,良品率可以认为是100%。 在实验室里,只要不是涂出来的薄膜有明显分层,或放射状结构等大面积缺陷,偶尔一些颗粒状凸起,即“点缺陷”,并不会影响到最终的小面积测试,只要在测试时规避缺陷部位即