-渐进式为主，以及遮蔽式光刻技术。这种原始的光刻机统称为Maskale，即掩模对准仪。本质上，是一台大型紫外灯。光刻时要把掩模板对准并紧贴硅片，不仅容易在硅片的光刻胶涂层上留下缺陷，导致光刻良率低下，生产一批芯片的合格率往往只有百分之十，同时光刻胶以及浮沉微粒也容易对昂贵的光掩模造成损害。每做十几次光刻，就得更换新的掩模板，生产成本巨大。”

不仅因为大陆现在情况本身就不是很稳定，也担心会