结果。

“完成光刻试验任务，没有异常。”

“一小时内成功曝光160片晶圆，比目前已知的ASMLEUVNEX3400B机型每小时曝光125片晶圆吞吐量多达35片！套刻误差不超过2n！”

“数据已全部记录，根据数据计算显示，可以在原样机的基础上将效率提高至少18，套刻误差提高到2n以下。”

“一片晶圆可得芯片数量等于晶圆面积/芯片面积-晶圆直径/芯片对角线长，照