进行优化了,至于什么是默认的方式,那就是不改变固定逻辑,按照制定机械仪器的工作逻辑进行优化。
就比如euv光刻机的工作逻辑就是利用极紫外光,经过十几块透镜的反射,然后通过光掩膜版,最后照在均匀涂抹了光刻胶的硅晶圆上,从而进行曝光刻蚀,制造芯片。
而如果换成x光光源的话,那么就是利用x光,不需要在经过十几块透镜反射,也不再需要光掩膜版,而是只需要经过一块经过抛光的晶体,利用x光衍
第二百四十五章 方向:控制衍射!(2 / 25)
进行优化了,至于什么是默认的方式,那就是不改变固定逻辑,按照制定机械仪器的工作逻辑进行优化。
就比如euv光刻机的工作逻辑就是利用极紫外光,经过十几块透镜的反射,然后通过光掩膜版,最后照在均匀涂抹了光刻胶的硅晶圆上,从而进行曝光刻蚀,制造芯片。
而如果换成x光光源的话,那么就是利用x光,不需要在经过十几块透镜反射,也不再需要光掩膜版,而是只需要经过一块经过抛光的晶体,利用x光衍