面也在积极准备设计和工程招标。

至于设备订购的事情，也需要同步进行。

李东综合比较了尼康、佳能以及阿斯麦的设备，最终决定采购阿斯麦的浸入式光刻设备。

其他的诸如刻蚀设备、清洗抛光设备等等，他也基本上确定了供应商名单。

国内这两年在部分设备上也有突破，李东尽量给了他们机会。能不能采用还要看设备验证的情况，不能一概而论。

但在材料这一块，恒美科技出品的