“光刻机的定位分辨率一般来说，比制程分辨率会高一到两代。”

“我们新科目前采用的芯片制程是0.35微米技术，定位分辨率则能够达到0.25微米水平。”

“按照正常的研发序列，我们接下来五年时间里会陆续开发出0.18和0.13微米级别的定位分辨率技术。”

“受限于我们目前的技术水平，到2004年我们最多可以把定位分辨率推进到90纳米。”

送走了林千军，王