第七十一章 有个新思路(9 / 11)

点了点头,走到实验台前,拿起一张设计纸,动笔开始绘制图纸。

见状,严教授神情一紧,连忙凑了上去。

“严老,我觉得这部蚀刻机在箱体的设计方面可以这样改进,把上部等离子电极和下部等离子电极设置成这个模式,…,气体注入管与这部箱体链接,…设定多个扩散板,设置在上部等离子电极与气体注入管之间,…电力发生器,向下部等离子电极施加电压,……,多个扩散板上形成多个辅助喷射孔,……。”周兴面露