投影式光刻机,最重要的就是掩膜版的制作,掩膜版制作完成,工作就算是完成了大半。 不过由于多层次立体晶体管架构的特殊性,掩膜版并不止一块,而是多块多层次,分别进行曝光,才能完成。 多块掩膜版的切换,自然也不是原本的光刻机能够做到的,为此杨青对光刻机的光学系统,还有工作台,做了大改,以适应这些特别的加工需求。 也幸亏杨青是生