,比如牙膏厂的-d&bsp&bsptri-gate,还有积电的ffet&bsp&bsp制程,不过因为加工工具的关系,光刻刻蚀的程度也不可能太深,最多只有几十个原子,在这基础上形成的晶体管,也可以看做在一个平面上。 而炼器的办法制成的芯片,却完完全全是立体的结构,一层一层地堆叠在了一起,然后以银导线相连接,已经不能用蓝星上面的工艺制程来区分了,表面上看,它的栅极间距足有一微米以上,但是三层