inf euv联盟的研发费用出资比例中，牵头的美国能源部出30%，inte和ga各出20%，tr、ib、it、ad和hp各出4%，irn和yer等其他33家科技企业和研究机构共出10%，今后享受的权利同出资比例相同。

ga需要出资的20%中，以前的euv研究成果折算15%。

ga这些年为了研发euv投资了15亿美元，取得了