汤普森院士团队虽然没有研制成功euv，但研究成果对ga的光源和光学精密设备的不断改进贡献极大。

由于孙健重生，濒临破产倒闭的ga浴火重生，重回全球光刻机的龙头企业之一，成为euv联盟的重要成员，汤普森院士团队专门研究euv光源7年，取得了不少重要技术成果，euv联盟研制成功euv光刻机，肯定不需要15年。

ga将成为全球唯一生产euv光刻机的厂家，ati将成为最大的