到这种光就行,我们又不用把这些光刻机往外销售,只要能自给自足就行了。” 一语惊醒梦中人。 这个方案其实在二十一世纪之初的时候就已经有人提出过,并且还有了原型机,只不过在极紫外光选择方面比较困难,后来咱们京城同步光源辐射项目就被误认为是华清大学建设的光刻工厂。 虽然是个误会,但这个提议确实是可行的,很多业内人士都曾站出来为其备书。 倪院士看了看江华,然后皱着眉