SVG，GCA，还在朝着极致推进DUV（深紫外线），而新成立的EUVLLC联盟则是要豪赌EUV（极深紫外线）。按照尼康，佳能，他们工程师的计算，用DUV157nF2激光，继续走前代技术，可以完成干式微影157n品制造，不过这几乎已经是到了极限，而EUVLLC联盟则是选择另起炉灶，选择只有十几纳米的极深紫外线。”

赵长安说道：“就目前来看，作为目前光刻机龙头地位的尼康，在未来几年以内应该能