模成型技术？”徐佑问道。

“是的，徐教授。三维掩模成像技术，对EUV光刻成像质量有很大的影响。三维掩模成像模型，是进行EUV光刻成像仿真的基础。”

简单的说，光刻机的工作原理，与照相机有一些类似。

光刻机发出的光，通过具有图形的光罩，能够对涂有光刻胶的薄片曝光。

光刻胶见光后会发生性质变化，从而使光罩上的图形复印到薄片上。

这样一来，薄片就具有电子